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合肥科晶總代理
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1700℃二通道混氣真空CVD氣相沉積介紹:是一款CE認證的二通道高真空CVD系統(tǒng),它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成,其最高工作溫度可達1600℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內(nèi)部。
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